Detalles del proyecto
Description
No abstract available
| Estado | Finalizado |
|---|---|
| Fecha de inicio/Fecha fin | 9/1/04 → 3/31/06 |
Financiación
- KY Science and Technology Co Inc: 14.973,00 US$
KSEF R&D Excellence: Level-to-Level Alignment with Nanometer Accuracy for Electron-Bem Lithography
- Hastings, Jeffrey (PI)