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Growth of Er-doped silicon using metalorganics by plasma-enhanced chemical vapor deposition

  • P. S. Andry
  • , W. J. Varhue
  • , F. Ladipo
  • , K. Ahmed
  • , E. Adams
  • , M. Lavoie
  • , P. B. Klein
  • , R. Hengehold
  • , J. Hunter

Producción científica: Article › revisión exhaustiva

18 Citas (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Growth of Er-doped silicon using metalorganics by plasma-enhanced chemical vapor deposition'. En conjunto forman una huella única.
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