Planarization of gratings using magnetorheological finishing

Fuqian Yang, D. Golini, D. H. Raguin, S. D. Jacobs

Producción científica: Conference articlerevisión exhaustiva

3 Citas (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Planarization of gratings using magnetorheological finishing'. En conjunto forman una huella única.

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